12/3～12/9（第41週）まとめ ★プラズマエッチングのおすすめ書籍★

学習＋作業時間

（カッコ内は作業時間）

12/3(月)：8h40m(1h45m)
12/4(火)：8h30m(35m)
12/5(水)：8h50m(25m)
12/6(木)：9h40m(1h15m)
12/7(金)：9h35m(30m)
12/8(土)：4h20m(1h30m)
12/9(日)：5h5m(15m)
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計：54h40m(6h15m)

●学習計画（学習時間や予定のブロックなど）

●学習記録（実績）

今週も先週に引き続き、目標学習時間にあと一歩というところまで学習時間を確保できました。
今週は旦那が学会で夜遅い日が続きましたが、それにも関わらず学習時間を確保できたのはやはりYouTube様のおかげです。本当にありがとうございました。

進捗

今週はプラズマエッチングに関する明細書を読んでいました。
プラズマエッチングについて理解するにはプラズマの挙動を知る必要がありますが、プラズマって非常に複雑らしいんですよ・・・。
その概要だけでも知っておこうと思い、最初に購入したのがこちらの書籍。

結論から言うと、
「これはまだ私には早いわ・・・」
という印象でした。

プラズマ分野ではある程度有名なもので、初学者が読む書籍だということで購入したのですが、物理の土台が高校基礎レベルである私には非常に難易度が高いものでした。
（大学の電磁気学の知識などがバンバン出てきます）

これは、大学の物理学科で教養課程を終えた学生が専門課程に入る際に読むものなのでしょう。
もちろん理解できそうな箇所もあるので、そこだけ拾い読みするでもよいのかもしれません。しかし、それでプラズマエッチングについて理解できるかというとそれは違うかと・・・。

うーん。と思い、次に購入したのがこちら。

こちら。
非常にわかりやすかった！！！
プラズマエッチングについて学習を始める人に強くお勧めしたいです！！！

こちらの本では、プラズマエッチングを理解する上で最低限必要なプラズマの知識が基礎から説明されています。その他、ドライエッチングのメカニズムや各種材料のエッチング方法、ドライエッチングによるダメージなど、一通りの事項が記載されています。

極力数式を使わずに説明されているため、細かいところはごまかされている印象を受けましたが、そこはWebで補充すればよさそう。
（それに、この本に書いてある以上のことは特許明細書の翻訳ではそれほど使わないのではないかとも思います）

この書籍を元に学習すれば、最初にプラズマエッチングの概要を理解した上で、特許明細書を読み解く上で必要な知識を上乗せしていけると思います。

ということで、現在こちらの書籍で基礎事項を確認しつつ明細書読みを進めています。
今週も引き続き、IBMレジストシリーズと明細書読みを進めていきます。